底面对准曝光机对准系统设计
文献类型：期刊论文
| 作者 | 严伟 ; 王肇志 ; 姚汉民 |
| 刊名 | 微纳电子技术
 |
| 出版日期 | 2002 |
| 卷号 | 39期号:10页码:40--44 |
| ISSN号 | 1671-4776 |
| 通讯作者 | 严伟 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2014-12-09 |
| 源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/426]  |
| 专题 | 光电技术研究所_微电子装备总体研究室（四室） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 严伟,王肇志,姚汉民. 底面对准曝光机对准系统设计[J]. 微纳电子技术,2002,39(10):40--44. |
| APA | 严伟,王肇志,&姚汉民.(2002).底面对准曝光机对准系统设计.微纳电子技术,39(10),40--44. |
| MLA | 严伟,et al."底面对准曝光机对准系统设计".微纳电子技术 39.10(2002):40--44. |
入库方式： OAI收割
来源：光电技术研究所
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