连续面形微光学元件的深刻蚀工艺
文献类型：期刊论文
| 作者 | 唐雄贵 ; 杜春雷 ; 邱传凯 |
| 刊名 | 光电工程
 |
| 出版日期 | 2003 |
| 卷号 | 30期号:3页码:13~16 |
| ISSN号 | 1003-501X |
| 通讯作者 | 唐雄贵 |
| 收录类别 | Ei |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2014-12-23 |
| 源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/685]  |
| 专题 | 光电技术研究所_微细加工光学技术国家重点实验室（开放室） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 唐雄贵,杜春雷,邱传凯. 连续面形微光学元件的深刻蚀工艺[J]. 光电工程,2003,30(3):13~16. |
| APA | 唐雄贵,杜春雷,&邱传凯.(2003).连续面形微光学元件的深刻蚀工艺.光电工程,30(3),13~16. |
| MLA | 唐雄贵,et al."连续面形微光学元件的深刻蚀工艺".光电工程 30.3(2003):13~16. |
入库方式： OAI收割
来源：光电技术研究所
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