碳化温度对异质外延3C-SiC薄膜结晶质量及表面形貌的影响
文献类型：期刊论文
| 作者 | 石彪 ; 刘学超 ; 周仁伟 ; 杨建华 ; 郑燕青 ; 施尔畏 |
| 刊名 | 人工晶体学报
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| 出版日期 | 2013-05-15 |
| 卷号 | 42期号:1页码:856 |
| ISSN号 | 1000-985X |
| 其他题名 | 碳化温度对异质外延3C-SiC薄膜结晶质量及表面形貌的影响 |
| 通讯作者 | 刘学超 |
| 学科主题 | 材料科学 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2014-12-18 |
| 源URL | [http://ir.sic.ac.cn/handle/331005/5072]  |
| 专题 | 上海硅酸盐研究所_中试基地_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 石彪,刘学超,周仁伟,等. 碳化温度对异质外延3C-SiC薄膜结晶质量及表面形貌的影响[J]. 人工晶体学报,2013,42(1):856. |
| APA | 石彪,刘学超,周仁伟,杨建华,郑燕青,&施尔畏.(2013).碳化温度对异质外延3C-SiC薄膜结晶质量及表面形貌的影响.人工晶体学报,42(1),856. |
| MLA | 石彪,et al."碳化温度对异质外延3C-SiC薄膜结晶质量及表面形貌的影响".人工晶体学报 42.1(2013):856. |
入库方式： OAI收割
来源：上海硅酸盐研究所
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