任意厚膜控制方法和装置
文献类型：成果
| 主要完成人 | 曹甲澈 ; 靖志勤 ; 王永才 ; 袁幼心 ; 沈洪均 |
| 获奖日期 | 1986 |
| 获奖类别 | 中科院科技进步奖 |
| 关键词 | 膜厚控制 |
| 中文摘要 | 该装置在国内处于领先地位,它具有在真空系统中能作实时地自动扫描测量薄膜光谱特性的功能,监控精度高,稳定可靠,工艺重复性好。膜厚制备成品率高等优点。该装置的研制成功,还为薄膜材料性质、膜层结构、膜层稳定性和膜厚特性分析等基础研究提供了新的实验手段。它的研制成功,解决了我国非规整膜厚的制备技术。其工作效率可提高19倍。 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/41623]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出_成果 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 曹甲澈,靖志勤,王永才,等. 任意厚膜控制方法和装置. 中科院科技进步奖. 1986. |
入库方式： OAI收割
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