大刚度超精密1:1扫描投影光刻机气浮工件台
文献类型：成果
| 作者 | 徐宏
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| 获奖日期 | 1992 |
| 获奖类别 | 长春市优秀成果奖 |
| 获奖等级 | 一等奖 |
| 关键词 | 气浮工作台 投影光刻机 |
| 中文摘要 | 该工件是国家重点攻关项目75-66-4-05II型1:1扫描投影光刻机的重要组成部分.其主要结构采用全封闭式气浮导轨及超定位结构, 小孔节流与表面节流相结合的空气节流形式,对气浮导轨进行了优化设计,保证了节流孔直径、气膜厚度和工作压力三者之间最佳匹配关系。空气静压止推轴承全部采用大型止推面，导轨材料为泰山青花岗石，扫描架为殷钢，保证了工作台的最大刚度和极高的直线运动精度。 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/41662]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出_成果 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 徐宏. 大刚度超精密1:1扫描投影光刻机气浮工件台. 长春市优秀成果奖:一等奖. 1992. |
入库方式： OAI收割
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