中国科学院机构知识库网格
Chinese Academy of Sciences Institutional Repositories Grid
LKZ 离子刻蚀终点检测仪

文献类型:成果

作者宋克非
获奖日期1995-10
获奖类别中科院科技进步奖
获奖等级三等奖
关键词离子刻蚀 检测仪
中文摘要本仪器集发射光谱和激光反射法于一体,用以在线监测LSI的刻蚀工艺过程并自动制终。可用在等离子及反应离子刻蚀机上监测多晶硅、氢化硅、二氧化硅、铝、钥的刻蚀及去胶。可实现刻蚀工艺自动化。监测精度达到80A,填补了国内LSI生产工艺化线监测设备的一项空白,达到了80年代后期国际先进水平。
语种中文
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/41678]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出_成果
推荐引用方式
GB/T 7714
宋克非. LKZ 离子刻蚀终点检测仪. 中科院科技进步奖:三等奖. 1995.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

浏览0
下载0
收藏0
其他版本

除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。