光栅尺在线检测仪
文献类型：成果
| 主要完成人 | 刘岩 ; 龙科蕙 ; 牛宝富 ; 王立朋 ; 李思 |
| 获奖日期 | 1996-11 |
| 获奖类别 | 中科院科技进步奖 |
| 获奖等级 | 三等奖 |
| 关键词 | 激光外差干涉仪 光栅检验 |
| 中文摘要 | 该检测仪用于在生产线上自动检测光栅尺的仪器,由激光外差干涉仪和长导轨、计算机、光栅尺显示、接口和传动系统组成。采用的大空心锥体镜使得在符合阿贝原则下,仪器导轨比常规短一倍;这是个创新、热控稳频技术,使稳频精度高达10~(-10),再现性10-9;测量速度比一般双频激光干涉仪快,主要技术指标国内领先,达到90年代国际先进水平。 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/41705]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出_成果 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘岩,龙科蕙,牛宝富,等. 光栅尺在线检测仪. 中科院科技进步奖:三等奖. 1996. |
入库方式： OAI收割
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