一种用于点衍射干涉仪针孔对准的装置和方法
文献类型：专利
| 作者 | 金春水 ; 张海涛; 于杰; 马冬梅
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| 发表日期 | 2014-07-09 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | 201110449616.3 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 中文摘要 | 一种用于点衍射干涉仪针孔对准的装置和方法，属于光学精密装调技术领域，目的是为实现点衍射干涉仪中聚焦光斑与衍射针孔的精确对准和对准状态实时监控而提供的一种用于点衍射干涉仪针孔对准的装置和方法，该装置包括激光器、激光扩束镜、第一分光棱镜、二分之一波片、第二分光棱镜、第三分光棱镜、四分之一波片、聚焦镜、针孔板、三维扫描微调整机构、第一激光功率计、第二激光功率计、第三激光功率计、位置探测器和计算机；本发明装置和方法提高了对准速度，监控针孔对准状态时便于快速再次对准；本发明采用一个单独的激光功率计探测激光器功率的变化，采用激光功率的比值而不是绝对值反映对准状态，克服了激光功率变化对针孔对准状态的误判断。 |
| 公开日期 | 2014-07-09 |
| 语种 | 中文 |
| 专利证书号 | 1439633 |
| 专利申请号 | 201110449616.3 |
| 专利代理 | 南小平 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42068]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 金春水,张海涛,于杰,等. 一种用于点衍射干涉仪针孔对准的装置和方法. 201110449616.3. 2014-07-09. |
入库方式： OAI收割
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