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一种非接触式扫描镜转角和转速测试系统

文献类型:专利

作者颜昌翔
发表日期2014-07-09
专利国别中国
专利号201210268287.7
专利类型发明
权利人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
是否PCT专利
中文摘要一种非接触式扫描镜转角和转速测试系统,属于光电检测技术领域中涉及的非接触式测试系统。要解决的技术问题:提供一种非接触式扫描镜转角和转速测试系统。解决的技术方案包括:半导体激光器、滤光片、阵列平面反射镜、CCD接收器件、检测系统基板、CCD处理电路、计算机、被检测扫描镜等。半导体激光器、滤光片、被检测的扫描镜、阵列平面反射镜和CCD接收器件都安装在检测系统基板上,阵列平面反射镜和被检测的扫描镜相对安装,阵列平面反射镜和CCD接收器件相对安装,四者的工作面水平中线在同一高度的平面上。该测试系统,精度高,测角范围大,避免了接触式测量的阻力矩干扰,提高了低速扫描镜转角和转速测量的准确度。
公开日期2014-07-09
语种中文
专利证书号1439901
专利申请号201210268287.7
专利代理刘树清
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42076]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
颜昌翔. 一种非接触式扫描镜转角和转速测试系统. 201210268287.7. 2014-07-09.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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