低成本、批量化微棱镜模具的设计方法
文献类型：专利
| 作者 | 张平 ; 周文超; 吴一辉; 郝鹏; 刘永顺
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| 发表日期 | 2014-10-15 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | 201210137051.X |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 中文摘要 | 低成本、批量化微棱镜模具的设计方法，涉及微流控芯片领域，解决现有加工棱镜模具采用的机械加工方法，使棱镜表面粗糙度大，且加工成本高，不便于批量化生产的问题，本发明利用表面光洁的硅片，结合光刻、ICP等MEMS技术，加工出所需角度棱镜左侧面、右侧面、斜面以及后直面等不同面的微小硅片，并且在左侧面和右侧面上刻有角度微型沟槽、竖直微型沟槽与角度标示孔，通过微型沟槽将各个硅片斜面和模具硅片后直面简单地拼接组装，实现微小型棱镜模具的制作，本发明所述的方法使用简单、成本低，易于批量化生产；本发明所述方法还可以应用于其他需要棱镜等相关领域。 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 公开日期 | 2014-10-15 |
| 语种 | 中文 |
| 专利证书号 | 1497597 |
| 专利申请号 | 201210137051.X |
| 专利代理 | 陶尊新 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42095]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张平,周文超,吴一辉,等. 低成本、批量化微棱镜模具的设计方法. 201210137051.X. 2014-10-15. |
入库方式： OAI收割
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