Competitive growth mechanisms of AlN on Si (111) by MOVPE
文献类型：期刊论文
| 作者 | Feng, YX ; Wei, HY ; Yang, SY ; Chen, Z ; Wang, LS ; Kong, SS ; Zhao, GJ ; Liu, XL |
| 刊名 | scientific reports
 |
| 出版日期 | 2014 |
| 卷号 | 4页码:6416 |
| 学科主题 | 半导体材料 |
| 收录类别 | SCI |
| 语种 | 英语 |
| 公开日期 | 2015-03-25 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/26198]  |
| 专题 | 半导体研究所_中科院半导体材料科学重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Feng, YX,Wei, HY,Yang, SY,et al. Competitive growth mechanisms of AlN on Si (111) by MOVPE[J]. scientific reports,2014,4:6416. |
| APA | Feng, YX.,Wei, HY.,Yang, SY.,Chen, Z.,Wang, LS.,...&Liu, XL.(2014).Competitive growth mechanisms of AlN on Si (111) by MOVPE.scientific reports,4,6416. |
| MLA | Feng, YX,et al."Competitive growth mechanisms of AlN on Si (111) by MOVPE".scientific reports 4(2014):6416. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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