脉冲电压对HPPMS制备CrN薄膜的组织结构与力学性能的影响
文献类型：期刊论文
| 作者 | 夏飞 ; 张栋 ; 邹长伟 ; 柯培玲 ; 王启民 ; 汪爱英 |
| 刊名 | 真空科学与技术学报
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| 出版日期 | 2014 |
| 卷号 | 10页码:1035-1039 |
| 公开日期 | 2015-04-16 |
| 源URL | [http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/11253]  |
| 专题 | 宁波材料技术与工程研究所_2014专题 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 夏飞,张栋,邹长伟,等. 脉冲电压对HPPMS制备CrN薄膜的组织结构与力学性能的影响[J]. 真空科学与技术学报,2014,10:1035-1039. |
| APA | 夏飞,张栋,邹长伟,柯培玲,王启民,&汪爱英.(2014).脉冲电压对HPPMS制备CrN薄膜的组织结构与力学性能的影响.真空科学与技术学报,10,1035-1039. |
| MLA | 夏飞,et al."脉冲电压对HPPMS制备CrN薄膜的组织结构与力学性能的影响".真空科学与技术学报 10(2014):1035-1039. |
入库方式： OAI收割
来源：宁波材料技术与工程研究所
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