复合高功率脉冲磁控溅射Ti的放电特性及薄膜制备
文献类型：期刊论文
| 作者 | 李小婵 ; 柯培玲 ; 刘新才 ; 汪爱英 |
| 刊名 | 金属学报
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| 出版日期 | 2014 |
| 卷号 | 7页码:879-885 |
| 公开日期 | 2015-04-16 |
| 源URL | [http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/11314]  |
| 专题 | 宁波材料技术与工程研究所_2014专题 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李小婵,柯培玲,刘新才,等. 复合高功率脉冲磁控溅射Ti的放电特性及薄膜制备[J]. 金属学报,2014,7:879-885. |
| APA | 李小婵,柯培玲,刘新才,&汪爱英.(2014).复合高功率脉冲磁控溅射Ti的放电特性及薄膜制备.金属学报,7,879-885. |
| MLA | 李小婵,et al."复合高功率脉冲磁控溅射Ti的放电特性及薄膜制备".金属学报 7(2014):879-885. |
入库方式： OAI收割
来源：宁波材料技术与工程研究所
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