硼硅玻璃表面沉积TiAlN/SiN薄膜的结构及性能
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王蕊 ; 李金龙 ; 王永欣 ; 胡建民 ; 王立平 ; 吴海忠 |
| 刊名 | 真空科学与技术学报
 |
| 出版日期 | 2014 |
| 卷号 | 9页码:956-960 |
| 公开日期 | 2015-04-16 |
| 源URL | [http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/11332]  |
| 专题 | 宁波材料技术与工程研究所_2014专题 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王蕊,李金龙,王永欣,等. 硼硅玻璃表面沉积TiAlN/SiN薄膜的结构及性能[J]. 真空科学与技术学报,2014,9:956-960. |
| APA | 王蕊,李金龙,王永欣,胡建民,王立平,&吴海忠.(2014).硼硅玻璃表面沉积TiAlN/SiN薄膜的结构及性能.真空科学与技术学报,9,956-960. |
| MLA | 王蕊,et al."硼硅玻璃表面沉积TiAlN/SiN薄膜的结构及性能".真空科学与技术学报 9(2014):956-960. |
入库方式： OAI收割
来源：宁波材料技术与工程研究所
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