大尺寸反射镜高精度检测方法研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 林维豪 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2014 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海应用物理研究所） |
| 导师 | 王劼 |
| 关键词 | 同步辐射 斜入射测量 绝对检测 镜面旋转对称 斜率误差 |
| 学位专业 | 核技术及应用 |
| 中文摘要 | 鉴于同步辐射掠入射光学元件的独有特点，即一般为横向较窄而轴向甚长的长条状，目前大尺寸光学元件面形检测的诸多方法，由于各自存在的局限，都难以直接加以运用。本文通过具体深入地研究斜入射法与干涉绝对检测技术，旨在实现同步辐射大尺寸平面反射镜面形的二维高精度检测。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2015-03-13 |
| 源URL | [http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/14786]  |
| 专题 | 上海应用物理研究所_中科院上海应用物理研究所2011-2017年 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 林维豪. 大尺寸反射镜高精度检测方法研究[D]. 中国科学院研究生院（上海应用物理研究所）. 2014. |
入库方式： OAI收割
来源：上海应用物理研究所
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