m面蓝宝石上外延(110)取向立方MgZnO薄膜及其日盲紫外探测器件研究(英文)
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王双鹏 ; 赵东旭; 李炳辉; 陈星; 姜明明; 申德振; 张振中; 刘雷
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| 刊名 | 发光学报
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| 出版日期 | 2014 |
| 期号 | 6页码:678-683 |
| 关键词 | 立方MgZnO (110)取向 日盲紫外探测器 MOCVD |
| 中文摘要 | 由于在日盲紫外探测方面的应用前景,具有合适带隙的MgZnO合金半导体薄膜受到越来越多的关注。获得具有择优取向的单一相MgZnO对提升MgZnO基日盲紫外探测器性能至关重要。本文利用低压金属有机化学气相沉积(LP-MOCVD)方法在m面蓝宝石衬底上制备了一系列不同组分的MgxZn1-xO薄膜。光学和结构特性测试结果表明:Zn摩尔分数达到55%的Mg0.45Zn0.55O薄膜依然是单一立方相,其光学带隙可以达到4.7 eV。立方岩盐结构MgZnO与m面蓝宝石衬底的外延结构关系为(110)MgZnO||(1010)sapphire、[001]MgZnO||[1210]sapphire和[110]MgZnO||[0001]sapphire。唯一确定的面内取向有利于薄膜晶体质量的提高。基于(110)取向立方相Mg0.45Zn0.55O薄膜制备金属-半导体-金属(MSM)结构器件,获得了光响应峰在260 nm、光响应截止波长278 nm的日盲紫外探测器。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2015-05-27 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42665]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王双鹏,赵东旭,李炳辉,等. m面蓝宝石上外延(110)取向立方MgZnO薄膜及其日盲紫外探测器件研究(英文)[J]. 发光学报,2014(6):678-683. |
| APA | 王双鹏.,赵东旭.,李炳辉.,陈星.,姜明明.,...&刘雷.(2014).m面蓝宝石上外延(110)取向立方MgZnO薄膜及其日盲紫外探测器件研究(英文).发光学报(6),678-683. |
| MLA | 王双鹏,et al."m面蓝宝石上外延(110)取向立方MgZnO薄膜及其日盲紫外探测器件研究(英文)".发光学报 .6(2014):678-683. |
入库方式： OAI收割
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