低温外延生长平整ZnO薄膜
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王双鹏 ; 赵东旭; 申德振; 刘雷; 赵海峰; 姜明明; 李炳辉; 张振中
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| 刊名 | 发光学报
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| 出版日期 | 2014 |
| 期号 | 5页码:542-547 |
| 关键词 | ZnO 分子束外延 生长温度 平整表面 |
| 中文摘要 | 在较低温度下实现平整ZnO薄膜的生长有利于ZnO的可控p型掺杂以及获得陡峭异质界面。本文使用分子束外延方法,采用a面蓝宝石为衬底,在450℃下生长了一系列ZnO薄膜样品。在富氧生长的条件下,固定氧流量不变,通过调节锌源温度来改变锌束流,以此调控生长速率。样品的生长速率为40～100 nm/h。通过扫描电镜(SEM)表征发现:在高锌束流的生长条件下,样品表面有很多不规则的颗粒;降低锌的供应量后,样品表面逐渐平整。原子力显微镜(AFM)测试结果表明:样品的均方根表面粗糙度(RMS)只有0.238 nm,接近于原子级平整度。这种平整表面的获得得℃于较低的生长速率,以及ZnO外延薄膜与a面蓝宝石衬底之间小的晶格失配。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2015-05-27 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42667]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王双鹏,赵东旭,申德振,等. 低温外延生长平整ZnO薄膜[J]. 发光学报,2014(5):542-547. |
| APA | 王双鹏.,赵东旭.,申德振.,刘雷.,赵海峰.,...&张振中.(2014).低温外延生长平整ZnO薄膜.发光学报(5),542-547. |
| MLA | 王双鹏,et al."低温外延生长平整ZnO薄膜".发光学报 .5(2014):542-547. |
入库方式： OAI收割
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