应用离子束修正大面形误差光学元件
文献类型：期刊论文
| 作者 | 马占龙 ; 隋永新
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| 刊名 | 光学学报
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| 出版日期 | 2014-01-09 |
| 期号 | 1页码:202-206 |
| 关键词 | 光学制造 离子束 面形修正 去除函数 |
| 中文摘要 | 为了获得超高精度面形的光学元件并验证离子束的修正能力,对应用离子束修正大面形误差光学元件的问题进行了实验研究。通过改变离子源光阑尺寸的方式获得了不同束径的离子束去除函数,并对一直径为101mm、初始面形峰谷(PV)值为417.554nm、均方根(RMS)值为104.743nm的熔石英平面镜进行了离子束修形实验。利用10、5、2mm光阑离子源的组合,进行了12次迭代修形,最终获得了PV值为10.843nm、RMS值为0.872nm的超高精度表面。实验结果表明,应用离子束可以对大面形误差光学元件进行修正,并且利用更大和更小束径离子束去除函数的组合进行优化,可以进一步提升加工效率和精度。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2015-05-27 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42706]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 马占龙,隋永新. 应用离子束修正大面形误差光学元件[J]. 光学学报,2014(1):202-206. |
| APA | 马占龙,&隋永新.(2014).应用离子束修正大面形误差光学元件.光学学报(1),202-206. |
| MLA | 马占龙,et al."应用离子束修正大面形误差光学元件".光学学报 .1(2014):202-206. |
入库方式： OAI收割
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