基于多光束干涉的长程轮廓仪
文献类型：期刊论文
| 作者 | 巩岩 ; 张巍
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| 刊名 | 光学学报
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| 出版日期 | 2014-03-09 |
| 期号 | 3页码:259-265 |
| 关键词 | 测量 长程轮廓仪 分束器 多光束干涉 |
| 中文摘要 | 为提高长程轮廓仪(LTP)面型检测的精度,提出一种使用波面型等光程多光束分束器的LTP。该分束结构可将入射光束分成若干束等光强等光程的相干光。在理论上分析计算了傅里叶变换(FT)透镜焦平面上干涉条纹的位置和强度分布,探究了零级干涉主极大条纹宽度、振幅和±1级干涉主极大条纹振幅与多光束分束器各结构参数之间的关系。通过选取合适的参数设计了基于多光束干涉原理的新型分束器,并与传统分束器进行了仿真实验比较,设计了测量系统中的准直镜和FT透镜,在Zemax软件中建立了完整的光学系统模型,并对该模型进行了实验验证。结果表明多光束干涉长程轮廓仪可以实现对被测表面斜率的测量,其在探测面上的干涉条纹宽度比传统双光束干涉窄,光强也更加集中,可以提高LTP的测量精度。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2015-05-27 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42769]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 巩岩,张巍. 基于多光束干涉的长程轮廓仪[J]. 光学学报,2014(3):259-265. |
| APA | 巩岩,&张巍.(2014).基于多光束干涉的长程轮廓仪.光学学报(3),259-265. |
| MLA | 巩岩,et al."基于多光束干涉的长程轮廓仪".光学学报 .3(2014):259-265. |
入库方式： OAI收割
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