大口径标准球面镜组研制与应用
文献类型:期刊论文
作者 | 薛栋林![]() |
刊名 | 中国激光
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出版日期 | 2014-06-09 |
期号 | 6页码:287-292 |
关键词 | 光学制造 大口径 标准球面透镜组 长曲率半径 高精度检测 |
中文摘要 | 为了实现大口径凸面反射镜检测,研究了大口径标准镜组的设计与研制技术。针对口径Φ为350mm、焦距为4400mm的标准球面镜组,完成了标准镜头设计分析、面形和曲率半径误差标定以及系统集成与实验验证。光学设计软件模拟分析结果表明镜头设计波像差达到0.0001λ[峰谷值(PV),λ=632.8nm],该标准镜头参考球面标准镜面形加工精度达到0.088λ(PV,λ=632.8nm)、0.006λ[均方根(RMS),λ=632.8nm],某项目Φ为320mm、R为4092mm的碳化硅凸面反射镜最终加工检测结果达到0.102λ(PV,λ=632.8nm)、0.011λ(RMS,λ=632.8nm)。结果表明采用该大口径标准球面波透镜组为大口径长曲率半径凸面反射镜提供了一种高精度检测的手段,解决了大口径长曲率半径凸面反射镜检测难题,采用该标准球面镜结合基于数字样板的非零位检测方法也可完成浅度非球面或自由曲面面形实时高精度检测。 |
语种 | 中文 |
公开日期 | 2015-05-27 |
源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42825] ![]() |
专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 薛栋林. 大口径标准球面镜组研制与应用[J]. 中国激光,2014(6):287-292. |
APA | 薛栋林.(2014).大口径标准球面镜组研制与应用.中国激光(6),287-292. |
MLA | 薛栋林."大口径标准球面镜组研制与应用".中国激光 .6(2014):287-292. |
入库方式: OAI收割
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