利用失调量向量选择投影物镜小比例模型系统补偿量
文献类型：期刊论文
| 作者 | 华洋洋 ; 刘春来; 王平; 赵阳; 赵阳; 门树东; 赵磊
|
| 刊名 | 光学学报
 |
| 出版日期 | 2014-08-09 |
| 期号 | 8页码:228-233 |
| 关键词 | 几何光学 复杂系统装调 补偿量选择 奇异值分解 失调量向量 补偿量相关性 |
| 中文摘要 | 光刻投影物镜小比例模型光学系统镜片数量较多,用每个补偿量去补偿对应失调量的传统装调方法对其不适用。利用灵敏度矩阵,并对其进行奇异值分解,对分解后的失调量向量的数值与符号进行分析,确定各失调量之间的相关性,提出了系统补偿量的选择方法,该方法仅需要分析少量向量即能选择补偿量的最佳组合。编写宏模块进行大量仿真计算,验证了补偿量敏感度与相关性分析的正确性。物镜系统初装完成后,对系统进行了仿真预装调,以确保补偿方案的可行性。实验结果表明,补偿后系统波像差均方根(RMS)值由70nm降低到29.6nm,优于技术指标要求,证明了提出的补偿量选择方法的正确性和有效性。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2015-05-27 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42880]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 华洋洋,刘春来,王平,等. 利用失调量向量选择投影物镜小比例模型系统补偿量[J]. 光学学报,2014(8):228-233. |
| APA | 华洋洋.,刘春来.,王平.,赵阳.,赵阳.,...&赵磊.(2014).利用失调量向量选择投影物镜小比例模型系统补偿量.光学学报(8),228-233. |
| MLA | 华洋洋,et al."利用失调量向量选择投影物镜小比例模型系统补偿量".光学学报 .8(2014):228-233. |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。