极紫外光刻投影物镜中多层膜分析模型的建立及应用
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王丽萍 ; 金春水; 喻波; 郭本银
|
| 刊名 | 光学学报
 |
| 出版日期 | 2014-08-09 |
| 期号 | 8页码:143-150 |
| 关键词 | 成像系统 光学设计 极紫外光刻 等效工作界面 多层膜 能量守恒 |
| 中文摘要 | 极紫外光刻投影系统中高反膜厚度一般约300nm,远大于13.5nm的工作波长,光能并不能完全穿透膜层入射到基底,从而引入数倍于波长的额外光程差,降低系统成像质量。从能量调制的角度提出了一种基于能量守恒定律的多层膜等效工作界面模型,将光学薄膜中复杂的物理光学过程等效地转换为简单直观的几何光学过程,获取可被常用光学设计软件识别的数据,进而实现对有膜光学系统的分析。利用该模型对不同系统进行了分析优化,获得了一套可实现衍射受限成像的有膜系统方案,证明了基于能量守恒的等效工作界面的有效性,指导后续系统的装调,为多次反射系统的分析提供了一种方法。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2015-05-27 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42887]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王丽萍,金春水,喻波,等. 极紫外光刻投影物镜中多层膜分析模型的建立及应用[J]. 光学学报,2014(8):143-150. |
| APA | 王丽萍,金春水,喻波,&郭本银.(2014).极紫外光刻投影物镜中多层膜分析模型的建立及应用.光学学报(8),143-150. |
| MLA | 王丽萍,et al."极紫外光刻投影物镜中多层膜分析模型的建立及应用".光学学报 .8(2014):143-150. |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。