前馈控制算法校正相移微动台非线性运动
文献类型：期刊论文
| 作者 | 代雷 ; 王绍治; 刘健; 张春雷; 彭利荣; 向阳
|
| 刊名 | 电子测量与仪器学报
 |
| 出版日期 | 2014-08-14 |
| 期号 | 8页码:879-884 |
| 关键词 | 压电陶瓷 柔性铰链 位移放大机构 非线性运动校正 相移误差 |
| 中文摘要 | 压电陶瓷具有推力大,响应速度快,分辨率高和能耗低等优点,但其形变量小,所以需要位移放大机构对其形变量进行放大,实现长行程高分辨率位移。针对压电陶瓷作为驱动器,柔性铰链位移放大装置作为导向机构的相移微动台运动存在非线性问题,采用多项式模型对其位移特性进行建模,通过求解逆多项式获得使其线性运动非线性电压,利用实验对非线性运动校正结果进行验证。实验结果表明,所采用前馈控制算法可以很好的校正相移微动台非线性运动,校正后相移台在x,y方向产生的最大相移误差为4°与3.2°,满足高精度相移干涉测量对相移台相移误差要求。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2015-05-27 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42966]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 代雷,王绍治,刘健,等. 前馈控制算法校正相移微动台非线性运动[J]. 电子测量与仪器学报,2014(8):879-884. |
| APA | 代雷,王绍治,刘健,张春雷,彭利荣,&向阳.(2014).前馈控制算法校正相移微动台非线性运动.电子测量与仪器学报(8),879-884. |
| MLA | 代雷,et al."前馈控制算法校正相移微动台非线性运动".电子测量与仪器学报 .8(2014):879-884. |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。