扫描干涉场曝光系统中周期设定对曝光刻线相位的影响
文献类型：期刊论文
| 作者 | 姜珊 ; 巴音贺希格 ; 李文昊 ; 宋莹 ; 潘明忠 |
| 刊名 | 光学学报
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| 出版日期 | 2014-09-09 |
| 期号 | 9页码:55-62 |
| 关键词 | 光栅 扫描干涉场曝光系统 相位锁定 光栅周期 刻线误差 |
| 中文摘要 | 扫描干涉场曝光系统中的干涉条纹周期是相位锁定系统的重要参数,其设定值与名义值之间的偏差会引起相邻扫描间的干涉条纹相位拼接误差。为获取以扫描曝光方式所制作光栅的衍射波前特征,根据步进扫描曝光的特点及动态相位锁定的工作原理,建立了扫描曝光的数学模型,给出了曝光刻线误差及曝光光栅周期的变化规律,并进行了相关实验验证。结果表明,相位锁定中周期设定误差会带来周期性的刻线误差。曝光光栅周期会随周期设定值的变化而改变,当周期设定误差较小时,曝光光栅周期等于周期设定值。对于曝光光斑束腰半径为0.9mm、曝光步进间隔为0.6mm、曝光条纹周期为555.6nm的系统参数,周期设定的相对误差小于278×10-6时,周期性的刻线误差小于1nm。若要求曝光对比度大于0.9,则周期设定的相对误差需要控制在92.6×10-6以内,周期设定值及曝光光栅周期的可变范围为102.8pm。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2015-05-27 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42971]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 姜珊,巴音贺希格,李文昊,等. 扫描干涉场曝光系统中周期设定对曝光刻线相位的影响[J]. 光学学报,2014(9):55-62. |
| APA | 姜珊,巴音贺希格,李文昊,宋莹,&潘明忠.(2014).扫描干涉场曝光系统中周期设定对曝光刻线相位的影响.光学学报(9),55-62. |
| MLA | 姜珊,et al."扫描干涉场曝光系统中周期设定对曝光刻线相位的影响".光学学报 .9(2014):55-62. |
入库方式： OAI收割
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