X射线干涉光刻光束线偏转镜系统的设计与测试
文献类型：期刊论文
| 作者 | 彭忠琦 ; 卢启鹏; 龚学鹏
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| 刊名 | 光学精密工程
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| 出版日期 | 2014-08-14 |
| 期号 | 8页码:2142-2150 |
| 关键词 | 上海同步辐射光源 X射线干涉光刻 偏转镜 结构设计 精度测试 |
| 中文摘要 | 介绍了上海光源X射线干涉光刻(XIL)光束线的基本情况。为实现光束线的光束偏转和光路切换,完成了其偏转镜系统的研制。分析了偏转镜系统的功能,设计了偏转镜的调节机构、切换机构和冷却结构。论述了调节机构的关键运动,即镜箱外直线运动转化为超高真空内旋转运动的实现过程;讨论了切换机构重复精度与承载能力之间的关系,并完成了精密丝杆的校核。采用镜子支撑方式和冷却方式集成的方案设计了冷却结构,并通过数值模拟分析了冷却结构和冷却效果。模拟结果表明镜子子午面形误差和弧矢面形误差分别约为6.5rad和7rad。应用激光干涉仪和光电自准直仪对调节机构和切换机构进行了测试,结果表明:调节机构的线性分辨力可达0.2μm,切换机构的重复精度满足设计要求。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2015-05-27 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42989]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 彭忠琦,卢启鹏,龚学鹏. X射线干涉光刻光束线偏转镜系统的设计与测试[J]. 光学精密工程,2014(8):2142-2150. |
| APA | 彭忠琦,卢启鹏,&龚学鹏.(2014).X射线干涉光刻光束线偏转镜系统的设计与测试.光学精密工程(8),2142-2150. |
| MLA | 彭忠琦,et al."X射线干涉光刻光束线偏转镜系统的设计与测试".光学精密工程 .8(2014):2142-2150. |
入库方式： OAI收割
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