大口径非圆形光学平面的五棱镜扫描检测技术研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 罗霄 ; 郑立功
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| 刊名 | 光电子.激光
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| 出版日期 | 2014-07-14 |
| 期号 | 7页码:1370-1375 |
| 关键词 | 光学检测 五棱镜扫描系统 非递归运算 大口径非圆形平面镜 Monte-Carlo分析 |
| 中文摘要 | 为了解决非圆形大口径光学平面镜加工过程中的高精度检测问题,针对五棱镜扫描技术,使用一种基于多项式内积以及cholesky分解的非递归方法进行数据处理,同时编写了检测拟合程序,并结合工程实例,对30m望远镜(TMT),thirty meter telescope)项目的三镜(2.5m×3.5m椭圆形平面镜)进行了模拟检测的Monte-Carlo分析。分析结果表明,五棱镜扫描系统对TMT三镜低阶像差的检测精度可以达到30.6nm 5 rms,对power项、astigmatism项的检测精度分别达到9.6nm rms及13.7nmrms,能够完成大口径非圆形光学平面镜低像差的高精度检测。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2015-05-27 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42992]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 罗霄,郑立功. 大口径非圆形光学平面的五棱镜扫描检测技术研究[J]. 光电子.激光,2014(7):1370-1375. |
| APA | 罗霄,&郑立功.(2014).大口径非圆形光学平面的五棱镜扫描检测技术研究.光电子.激光(7),1370-1375. |
| MLA | 罗霄,et al."大口径非圆形光学平面的五棱镜扫描检测技术研究".光电子.激光 .7(2014):1370-1375. |
入库方式： OAI收割
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