基于Sb_2O_3/Ag/Sb_2O_3叠层透明导电薄膜的自组装沟道透明薄膜晶体管
文献类型：期刊论文
| 作者 | 刘星元
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| 刊名 | 发光学报
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| 出版日期 | 2014-12-15 |
| 期号 | 12页码:1469-1473 |
| 关键词 | 透明导电薄膜 Sb2O3/Ag/Sb2O3叠层 自组装沟道 透明薄膜晶体管 |
| 中文摘要 | 首次利用Sb2O3/Ag/Sb2O3(SAS)叠层透明导电薄膜作为透明电极,并采用衍射自组装沟道的方法研制了一种透明薄膜晶体管。通过一次掩模工艺,在电子束热蒸发过程中的SAS源漏电极之间制作沟道层。SAS透明导电薄膜具有优异的光电性能。研制的透明薄膜晶体管具有良好的器件性能,其迁移率高达11.36cm2/(V·s)。整个器件在可见光范围内的平均透过率为80%。结果表明,这种透明薄膜晶体管有希望应用于低成本透明光电子产品中。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2015-05-27 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/43076]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘星元. 基于Sb_2O_3/Ag/Sb_2O_3叠层透明导电薄膜的自组装沟道透明薄膜晶体管[J]. 发光学报,2014(12):1469-1473. |
| APA | 刘星元.(2014).基于Sb_2O_3/Ag/Sb_2O_3叠层透明导电薄膜的自组装沟道透明薄膜晶体管.发光学报(12),1469-1473. |
| MLA | 刘星元."基于Sb_2O_3/Ag/Sb_2O_3叠层透明导电薄膜的自组装沟道透明薄膜晶体管".发光学报 .12(2014):1469-1473. |
入库方式： OAI收割
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