基于Sb_2O_3/Ag/Sb_2O_3叠层透明导电薄膜的自组装沟道透明薄膜晶体管
文献类型:期刊论文
作者 | 刘星元![]() |
刊名 | 发光学报
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出版日期 | 2014-12-15 |
期号 | 12页码:1469-1473 |
关键词 | 透明导电薄膜 Sb2O3/Ag/Sb2O3叠层 自组装沟道 透明薄膜晶体管 |
中文摘要 | 首次利用Sb2O3/Ag/Sb2O3(SAS)叠层透明导电薄膜作为透明电极,并采用衍射自组装沟道的方法研制了一种透明薄膜晶体管。通过一次掩模工艺,在电子束热蒸发过程中的SAS源漏电极之间制作沟道层。SAS透明导电薄膜具有优异的光电性能。研制的透明薄膜晶体管具有良好的器件性能,其迁移率高达11.36cm2/(V·s)。整个器件在可见光范围内的平均透过率为80%。结果表明,这种透明薄膜晶体管有希望应用于低成本透明光电子产品中。 |
语种 | 中文 |
公开日期 | 2015-05-27 |
源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/43076] ![]() |
专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘星元. 基于Sb_2O_3/Ag/Sb_2O_3叠层透明导电薄膜的自组装沟道透明薄膜晶体管[J]. 发光学报,2014(12):1469-1473. |
APA | 刘星元.(2014).基于Sb_2O_3/Ag/Sb_2O_3叠层透明导电薄膜的自组装沟道透明薄膜晶体管.发光学报(12),1469-1473. |
MLA | 刘星元."基于Sb_2O_3/Ag/Sb_2O_3叠层透明导电薄膜的自组装沟道透明薄膜晶体管".发光学报 .12(2014):1469-1473. |
入库方式: OAI收割
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