三坐标检测光学元件曲率半径的误差分析
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王飞; 张春雷 ; 王高文; 王飞; 谷勇强; 马占龙; 王东方; 彭利荣
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| 刊名 | 电子测量与仪器学报
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| 出版日期 | 2014-11-15 |
| 期号 | 11页码:1235-1241 |
| 关键词 | 曲率半径检测 干涉仪 三坐标 不确定度 |
| 中文摘要 | 对光学元件曲率半径的通用检测方法进行评估,理论分析了三坐标系统检测元件曲率半径误差的主要来源、分布以及总和,并通过与激光干涉仪测量结果的对比,明确了三坐标测量系统的检测精度,为铣磨加工阶段进一步修正光学元件曲率半径提供数据支持。首先介绍了三坐标系统检测曲率半径的基本原理,对测量误差的主要来源进行简单分析,获得三坐标系统测量曲率半径的不确定度;阐述了激光干涉仪测量曲率半径的基本原理以及误差来源,并计算了测量不确定度,证实激光干涉仪的理论测量精度优于三坐标系统。然后利用三坐标系统对简单抛光后的F数分别为2.17、1.45、0.923的光学元件进行实际测量,并与激光干涉仪的测量结果进行了比较。最后,对实验结果与理论计算结果进行对比。论文研究结果确定了三坐标系统测量光学元件曲率半径的不确定度,证实了利用三坐标测量曲率半径满足铣磨加工阶段的要求,能够为铣磨加工提供指导;同时研究发现,随着光学元件F数的增加,三坐标和激光干涉仪的测量误差都有增大的趋势。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2015-05-27 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/43080]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王飞,张春雷,王高文,等. 三坐标检测光学元件曲率半径的误差分析[J]. 电子测量与仪器学报,2014(11):1235-1241. |
| APA | 王飞.,张春雷.,王高文.,王飞.,谷勇强.,...&彭利荣.(2014).三坐标检测光学元件曲率半径的误差分析.电子测量与仪器学报(11),1235-1241. |
| MLA | 王飞,et al."三坐标检测光学元件曲率半径的误差分析".电子测量与仪器学报 .11(2014):1235-1241. |
入库方式： OAI收割
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