特大尺寸轻型碳化硅镜坯烧结工艺研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 张舸
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| 刊名 | 硅酸盐通报
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| 出版日期 | 2014-11-15 |
| 期号 | 11页码:2838-2842 |
| 关键词 | 反应烧结碳化硅 温度场 素坯 熔融硅 |
| 中文摘要 | 本文分析了反应烧结过程中温度场分布对碳化硅(SiC)镜坯的影响,提出安全升降温速率与陶瓷坯体尺寸的平方成反比关系;测试了SiC素坯热膨胀系数、导热系数与温度的关系,在此基础上讨论了镜坯中的热应力与安全升降温参数的确定;同时通过对固态、液态硅(Si)以及Si固液态转变的特性分析,确定了最佳硅熔渗温度;最后分析了反应烧结SiC(RBSiC)中残余应力的产生机理,提出了解决办法。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2015-05-27 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/43109]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张舸. 特大尺寸轻型碳化硅镜坯烧结工艺研究[J]. 硅酸盐通报,2014(11):2838-2842. |
| APA | 张舸.(2014).特大尺寸轻型碳化硅镜坯烧结工艺研究.硅酸盐通报(11),2838-2842. |
| MLA | 张舸."特大尺寸轻型碳化硅镜坯烧结工艺研究".硅酸盐通报 .11(2014):2838-2842. |
入库方式： OAI收割
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