基于运动学原理的三镜支撑设计及支撑位置优化研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 徐伟 ; 张丽敏 ; 刘昌华 |
| 刊名 | 机电工程
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| 出版日期 | 2014-12-20 |
| 期号 | 12页码:1574-1577 |
| 关键词 | 运动学原理 三镜支撑 优化分析 |
| 中文摘要 | 针对三镜支撑机构需要应对重力影响以及温度变形的问题,对三镜的支撑方法进行了研究,提出了一种基于运动学原理的支撑设计;对支撑点位置进行了优化,通过ANSYS上的优化分析模块,以RMS值为指标,优化出了支撑点的位置;对不同重力方向作用下的三镜面型进行了有限元分析,得到了重力方向与反射镜面型的关系曲线;利用ZYGO干涉仪对支撑前后的三镜面型进行了试验检测,实测重力作用下的RMS值为0.021λ,支撑后仅增大0.002λ。研究结果表明,该支撑方法通过令柔性三点底支撑与中心侧支撑互相解耦,能够减小重力作用或者温度变化时,因变形不协调而产生的集中应力,从而拥有良好的面型。该支撑方法是可靠的,优化出的支撑点位置是可行的。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2015-05-27 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/43114]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 徐伟,张丽敏,刘昌华. 基于运动学原理的三镜支撑设计及支撑位置优化研究[J]. 机电工程,2014(12):1574-1577. |
| APA | 徐伟,张丽敏,&刘昌华.(2014).基于运动学原理的三镜支撑设计及支撑位置优化研究.机电工程(12),1574-1577. |
| MLA | 徐伟,et al."基于运动学原理的三镜支撑设计及支撑位置优化研究".机电工程 .12(2014):1574-1577. |
入库方式： OAI收割
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