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一种非对称式压电驱动微夹持器

文献类型:期刊论文

作者高群; 周鹏骥; 王晓东
刊名纳米技术与精密工程
出版日期2014-11-15
期号6页码:435-440
关键词非对称 压电陶瓷 柔性铰链 平行四杆 应变式反馈 增量式PID
中文摘要针对微管类(直径0~300μm)零件的夹持需求,基于有限元分析设计了一种非对称式压电驱动的微夹持器.该微夹持器采用柔性铰链实现压电陶瓷输出位移的传递和放大.采用平行四杆机构实现夹钳末端的平行移动.通过检测柔性铰链处应变的方法,间接地测量夹持力和位移信息.微夹持器的实验特性显示位移的放大倍率为5.6倍,夹持器末端夹钳可以实现平行移动.力和位移标定实验中显示夹持力的分辨力在2.41 m N,位移的分辨力在0.22μm,且力/位移与应变具有很好的线性关系.采用增量式PID的控制算法对系统进行力/位移的闭环控制.以微型玻璃管(直径150μm)夹持为例,系统的阶跃响应实验显示,系统的力/位移控制可以实现无超调.实验结果表明增量式PID控制算法可以实现对本微夹持器力/位移的准确、稳定控制.
语种中文
公开日期2015-05-27
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/43117]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
高群,周鹏骥,王晓东. 一种非对称式压电驱动微夹持器[J]. 纳米技术与精密工程,2014(6):435-440.
APA 高群,周鹏骥,&王晓东.(2014).一种非对称式压电驱动微夹持器.纳米技术与精密工程(6),435-440.
MLA 高群,et al."一种非对称式压电驱动微夹持器".纳米技术与精密工程 .6(2014):435-440.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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