一种精密气控系统的设计与实现
文献类型：期刊论文
| 作者 | 李佩玥 ; 崔洋; 于淼
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| 刊名 | 国外电子测量技术
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| 出版日期 | 2014-07-14 |
| 期号 | 7页码:21-24 |
| 关键词 | 气路仿真 压力控制 流量控制 QWT |
| 中文摘要 | 介绍了一种精密气控系统的设计与实现方案,该系统通过智能算法将气源控制为恒定压力、流量的输出气体,满足半导体行业需求。首先,采用AMESim提供的元件设计库构建了气体控制回路动态仿真模型,调节回路内关键节点的气体压力和流量特性参数进行时域分析,以验证模型的正确性。其次,通过CompactPCI总线机箱执行实时采集和闭环控制,并利用QWT库实现人机交互图形界面。实验结果表明,该系统具有便携性、可配置性、实时性、高精度等特点,适用于低流量、高稳态氮气供给应用场景。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2015-05-27 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/43342]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李佩玥,崔洋,于淼. 一种精密气控系统的设计与实现[J]. 国外电子测量技术,2014(7):21-24. |
| APA | 李佩玥,崔洋,&于淼.(2014).一种精密气控系统的设计与实现.国外电子测量技术(7),21-24. |
| MLA | 李佩玥,et al."一种精密气控系统的设计与实现".国外电子测量技术 .7(2014):21-24. |
入库方式： OAI收割
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