点衍射干涉仪波面参考源误差及公差分析
文献类型：期刊论文
| 作者 | 金春水 ; 于杰
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| 刊名 | 中国光学
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| 出版日期 | 2014-10-15 |
| 期号 | 5页码:855-862 |
| 关键词 | 光学检测 点衍射干涉仪 波面参考源 误差研究 公差分析 |
| 中文摘要 | 为了保留光纤点衍射干涉仪容易对准以及衍射光束易于控制的优点,同时又能实现大数值孔径(NA)光学系统的检测,设计了一种新型的波面参考源(WRS),它保留了光纤点衍射和微孔点衍射的优点,可满足大NA极紫外光刻物镜系统波像差检测的要求。本文在分析各种误差的基础上,搭建了WRS原理光路并对WRS的系统误差标定算法进行详细的研究,得到WRS标定时旋转平台的角度公差为0.5°,跳径时偏离系数为0.5%。这一新型WRS误差分析及标定对于实现高精度的检测具有十分重要的意义,最终为实现WRS系统误差标定提供理论基础。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2015-05-27 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/43418]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 金春水,于杰. 点衍射干涉仪波面参考源误差及公差分析[J]. 中国光学,2014(5):855-862. |
| APA | 金春水,&于杰.(2014).点衍射干涉仪波面参考源误差及公差分析.中国光学(5),855-862. |
| MLA | 金春水,et al."点衍射干涉仪波面参考源误差及公差分析".中国光学 .5(2014):855-862. |
入库方式： OAI收割
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