用于非球面检验的激光直写高精度计算全息图制作
文献类型：期刊论文
| 作者 | 郑立功 ; 张志宇
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| 刊名 | 激光与光电子学进展
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| 出版日期 | 2014-11-10 |
| 期号 | 11页码:128-134 |
| 关键词 | 全息 衍射光学元件制作 线宽 非球面检验 |
| 中文摘要 | 为实现高精度非球面的面形误差检测,对激光直写计算全息图(CGH)的关键技术进行研究。以获得最小线宽偏差为目的,通过基础工艺实验,探究离焦量对光刻胶上线宽的影响;研究湿法刻蚀过程对不同线宽引入的展宽规律;分析线宽误差与位置误差关系,得到CGH不同周期位置误差引入的波前误差。根据实验结果,制作最小线宽1.8 mm,直径80 mm的振幅型CGH。检测结果表明,波前误差均方根值为0.011l,达到l/100量级,可用于高精度非球面的检测。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2015-05-27 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/43467]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郑立功,张志宇. 用于非球面检验的激光直写高精度计算全息图制作[J]. 激光与光电子学进展,2014(11):128-134. |
| APA | 郑立功,&张志宇.(2014).用于非球面检验的激光直写高精度计算全息图制作.激光与光电子学进展(11),128-134. |
| MLA | 郑立功,et al."用于非球面检验的激光直写高精度计算全息图制作".激光与光电子学进展 .11(2014):128-134. |
入库方式： OAI收割
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