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用于大激光工程污染控制的有效洁净度

文献类型:期刊论文

作者穆全全; 王海萍
刊名强激光与粒子束
出版日期2014-11-15
期号11页码:57-60
关键词大激光工程 激光损伤阈值 有效洁净度 污染物化学成分
中文摘要从分子运动的角度,通过对不同分子沉降过程的量化计算,发现不同污染物沉降速率的差异,由此提出了一种包含污染物化学成分的有效洁净度的概念。有效洁净度从描述物质沉降过程的输运方程出发,通过计算不同理化性质的污染物分子沉降速率对不同污染物进行区分,并将该信息与原标准下的洁净度信息结合。使用美国国家标准与技术学会(NIST)数据库提供的数据代入有效洁净度理论,计算了几种主要污染物的有效洁净度数值,计算结果与法国LIL激光装置中有代表性的污染物的沉降速率及曝光后形成污染的程度进行了对比,与实验观测基本吻合。
语种中文
公开日期2015-05-27
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/43471]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
穆全全,王海萍. 用于大激光工程污染控制的有效洁净度[J]. 强激光与粒子束,2014(11):57-60.
APA 穆全全,&王海萍.(2014).用于大激光工程污染控制的有效洁净度.强激光与粒子束(11),57-60.
MLA 穆全全,et al."用于大激光工程污染控制的有效洁净度".强激光与粒子束 .11(2014):57-60.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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