绝对式光栅尺母光栅刻划装置的设计
文献类型：期刊论文
| 作者 | 谭向全 ; 郑黎明
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| 刊名 | 机电产品开发与创新
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| 出版日期 | 2014-03-27 |
| 期号 | 2页码:108-109+79 |
| 关键词 | 绝对式光栅尺 母尺光栅 刻划装置 曝光光源 |
| 中文摘要 | 简述了绝对式光栅尺母光栅刻划装置的设计方案。针对曝光光源均匀性、图案畸变、精确放大倍率等难点问题,设计了刻划装置的专业装调方案。同时利用刻划装置的物理样机进行曝光加工,得到了满足设计要求的母光栅码道图案。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2015-05-27 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/43602]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 谭向全,郑黎明. 绝对式光栅尺母光栅刻划装置的设计[J]. 机电产品开发与创新,2014(2):108-109+79. |
| APA | 谭向全,&郑黎明.(2014).绝对式光栅尺母光栅刻划装置的设计.机电产品开发与创新(2),108-109+79. |
| MLA | 谭向全,et al."绝对式光栅尺母光栅刻划装置的设计".机电产品开发与创新 .2(2014):108-109+79. |
入库方式： OAI收割
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