一种全息光栅曝光系统结构
文献类型：期刊论文
| 作者 | 撖芃芃 |
| 刊名 | 长春工业大学学报(自然科学版)
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| 出版日期 | 2014-12-15 |
| 期号 | 6页码:639-644 |
| 关键词 | 全息光栅 波前质量 模态分析 稳定性 |
| 中文摘要 | 采用双透镜组的结构引入补偿镜,使工作波长和装调波长共像面。采用有限元分析方法对机械系统的设计结果进行模态分析,结果表明,该曝光系统具有较高的波前质量和系统稳定性。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2015-05-27 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/43630]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 撖芃芃. 一种全息光栅曝光系统结构[J]. 长春工业大学学报(自然科学版),2014(6):639-644. |
| APA | 撖芃芃.(2014).一种全息光栅曝光系统结构.长春工业大学学报(自然科学版)(6),639-644. |
| MLA | 撖芃芃."一种全息光栅曝光系统结构".长春工业大学学报(自然科学版) .6(2014):639-644. |
入库方式： OAI收割
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