二维工作台正交性检测
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈琦 |
| 刊名 | 长春工业大学学报(自然科学版)
 |
| 出版日期 | 2014-12-15 |
| 期号 | 6页码:720-722 |
| 关键词 | 正交性 电容测微仪 多齿分度盘 平晶 |
| 中文摘要 | 应用非接触式电容测微仪以及平晶与多齿分度盘组合,检测二维工作台的正交性。调试为下层台200mm、上层台300mm行程时的正交性小于±0.5″,满足要求。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2015-05-27 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/43632]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈琦. 二维工作台正交性检测[J]. 长春工业大学学报(自然科学版),2014(6):720-722. |
| APA | 陈琦.(2014).二维工作台正交性检测.长春工业大学学报(自然科学版)(6),720-722. |
| MLA | 陈琦."二维工作台正交性检测".长春工业大学学报(自然科学版) .6(2014):720-722. |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。