改良西门子法生产多晶硅精馏工艺的改进
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王舒娅
|
| 刊名 | 有色金属(冶炼部分)
 |
| 出版日期 | 2013-09-12 |
| 期号 | 09页码:56-59 |
| 关键词 | 多晶硅 西门子法 杂质 精馏 工艺 改进 |
| 中文摘要 | 改良西门子法是目前国内外多晶硅厂家最常用的方法,对提纯三氯氢硅的三塔精馏工艺进行改进。结果表明,改进后的四塔精馏工艺可以进一步降低三氯氢硅中硼、磷等杂质的含量,最终精馏塔顶馏出物高纯三氯氢硅纯度达到99.999%。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2015-04-07 |
| 源URL | [http://ir.isl.ac.cn/handle/363002/2657]  |
| 专题 | 青海盐湖研究所_青海盐湖研究所知识仓储 青海盐湖研究所_盐湖资源综合利用工程技术中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王舒娅. 改良西门子法生产多晶硅精馏工艺的改进[J]. 有色金属(冶炼部分),2013(09):56-59. |
| APA | 王舒娅.(2013).改良西门子法生产多晶硅精馏工艺的改进.有色金属(冶炼部分)(09),56-59. |
| MLA | 王舒娅."改良西门子法生产多晶硅精馏工艺的改进".有色金属(冶炼部分) .09(2013):56-59. |
入库方式： OAI收割
来源：青海盐湖研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。