氮化铝MEMS谐振器关键技术研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 杨健 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2015-05-28 |
| 授予单位 | 中国科学院大学 |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 宁瑾 |
| 关键词 | 氮化铝 MEMS 谐振器 有限单元法 压电系数测试 ICP刻蚀 |
| 学位专业 | 电子与通信工程 |
| 学科主题 | 微电子学 |
| 公开日期 | 2015-06-02 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/26537]  |
| 专题 | 半导体研究所_半导体集成技术工程研究中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨健. 氮化铝MEMS谐振器关键技术研究[D]. 北京. 中国科学院大学. 2015. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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