外延剥离技术在Ⅲ-Ⅴ族薄膜太阳电池中的应用
文献类型：学位论文
| 作者 | 马静 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2015-05-28 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院 |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 王晓东 |
| 关键词 | III-V 族薄膜太阳电池 外延剥离技术 衬底转移 直接键合 |
| 学位专业 | 集成电路工程 |
| 学科主题 | 半导体器件 |
| 公开日期 | 2015-06-02 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/26541]  |
| 专题 | 半导体研究所_半导体集成技术工程研究中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 马静. 外延剥离技术在Ⅲ-Ⅴ族薄膜太阳电池中的应用[D]. 北京. 中国科学院研究生院. 2015. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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