GaN基SBD功率器件研究进展
文献类型：期刊论文
| 作者 | 李迪 |
| 刊名 | 微纳电子技术
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| 出版日期 | 2014-05 |
| 卷号 | 51期号:5 |
| 关键词 | 氮化镓 肖特基势垒二极管 功率器件 肖特基金属 漏电流 等离子体处理 |
| 公开日期 | 2015-05-29 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/26497]  |
| 专题 | 半导体研究所_半导体集成技术工程研究中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李迪. GaN基SBD功率器件研究进展[J]. 微纳电子技术,2014,51(5). |
| APA | 李迪.(2014).GaN基SBD功率器件研究进展.微纳电子技术,51(5). |
| MLA | 李迪."GaN基SBD功率器件研究进展".微纳电子技术 51.5(2014). |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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