高Q值的谐振式MEMS气压传感器的研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 罗振宇 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2015-05-18 |
| 授予单位 | 中国科学院大学 |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 陈德勇 |
| 关键词 | 谐振式 压力传感器 品质因数 圆片级真空封装 阳极键合 吸气剂 TGV 低应力组装 差频检测 温度补偿 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 学科主题 | 真空电子技术 ; 传感器 ; Sensor ; Vacuum |
| 公开日期 | 2015-06-05 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/10609]  |
| 专题 | 电子学研究所_电子所博硕士学位论文_电子所博硕士学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 罗振宇. 高Q值的谐振式MEMS气压传感器的研究[D]. 北京. 中国科学院大学. 2015. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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