飞秒激光光刻波导的实验研究
文献类型:学位论文
作者 | 刘爽 |
学位类别 | 硕士 |
答辩日期 | 2015-04 |
授予单位 | 中国科学院研究生院 |
授予地点 | 北京 |
导师 | 程光华 |
关键词 | 飞秒光刻 光波导 偏振导光 狭缝整形 钛蓝宝石晶体 掺Er3+氟碲酸盐玻璃 |
学科主题 | 激光物理 |
公开日期 | 2015-06-30 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/22993] ![]() |
专题 | 西安光学精密机械研究所_研究生部 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘爽. 飞秒激光光刻波导的实验研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院. 2015. |
入库方式: OAI收割
来源:西安光学精密机械研究所
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