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飞秒激光光刻波导的实验研究

文献类型:学位论文

作者刘爽
学位类别硕士
答辩日期2015-04
授予单位中国科学院研究生院
授予地点北京
导师程光华
关键词飞秒光刻 光波导 偏振导光 狭缝整形 钛蓝宝石晶体 掺Er3+氟碲酸盐玻璃
学科主题激光物理
公开日期2015-06-30
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/22993]  
专题西安光学精密机械研究所_研究生部
推荐引用方式
GB/T 7714
刘爽. 飞秒激光光刻波导的实验研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院. 2015.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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