飞秒激光的波长对SiC材料烧蚀的影响
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈洪新 ; 贾天卿 ; 黄敏 ; 赵福利 ; 许宁生 ; 徐至展 |
| 刊名 | 光学学报
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| 出版日期 | 2006 |
| 卷号 | 26期号:3页码:467 |
| 关键词 | 超快光学 烧蚀阈值 微加工 飞秒激光 光致电离 碰撞电离 |
| ISSN号 | 0253-2239 |
| 中文摘要 | 利用10倍的显微物镜将近红外飞秒激光脉冲汇聚到宽带隙半导体材料6HSiC的前表面，研究样品的烧蚀及诱导微细结构。用扫描电镜（Scanning electron microscope，SEM）及光学显微镜测量烧蚀斑。利用烧蚀面积与激光脉冲能量的关系确定SiC的烧蚀阈值。给出了SiC样品的烧蚀阈值与飞秒激光波长的依赖关系。实验结果表明，可见光区随波长增加，烧蚀阈值从0．29J／cm^2增加到0．67J／cm^2；而在近红外区，SiC的烧蚀阈值为0．70J／cm^2左右，基本上不随激光波长变化而改变。结合计算结 |
| 学科主题 | 激光技术;激光物理与基本理论 |
| 分类号 | O439 |
| 收录类别 | ei |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2009-09-18 ; 2010-10-12 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/396]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_强场激光物理国家重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈洪新,贾天卿,黄敏,等. 飞秒激光的波长对SiC材料烧蚀的影响[J]. 光学学报,2006,26(3):467, 470. |
| APA | 陈洪新,贾天卿,黄敏,赵福利,许宁生,&徐至展.(2006).飞秒激光的波长对SiC材料烧蚀的影响.光学学报,26(3),467. |
| MLA | 陈洪新,et al."飞秒激光的波长对SiC材料烧蚀的影响".光学学报 26.3(2006):467. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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