激光剥蚀电感耦合等离子体质谱法测定碳化硅器件中杂质元素
文献类型：期刊论文
| 作者 | 周慧; 汪正; 朱燕; 李青; 陈奕睿; 屈海云; 邹慧君; 99; 99 |
| 刊名 | 分析化学
 |
| 出版日期 | 2014-07-01 |
| 期号 | 42页码:123 |
| 学科主题 | 化学 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.sic.ac.cn/handle/331005/6144]  |
| 专题 | 上海硅酸盐研究所_无机材料分析测试中心_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 周慧,汪正,朱燕,等. 激光剥蚀电感耦合等离子体质谱法测定碳化硅器件中杂质元素[J]. 分析化学,2014(42):123. |
| APA | 周慧.,汪正.,朱燕.,李青.,陈奕睿.,...&99.(2014).激光剥蚀电感耦合等离子体质谱法测定碳化硅器件中杂质元素.分析化学(42),123. |
| MLA | 周慧,et al."激光剥蚀电感耦合等离子体质谱法测定碳化硅器件中杂质元素".分析化学 .42(2014):123. |
入库方式： OAI收割
来源：上海硅酸盐研究所
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