离子束辅助沉积TiN膜的摩擦学特性
文献类型：期刊论文
| 作者 | 刘捍卫 ; 陈元儒 ; 张绪寿 |
| 刊名 | 金属学报
 |
| 出版日期 | 1994 |
| 卷号 | 30期号:7页码:323-326 |
| 关键词 | 离子束辅助沉积 TiN膜 滑动摩擦 ion beam assisted deposition TiN film sliding friction |
| ISSN号 | 0412-1961 |
| 通讯作者 | 刘捍卫 |
| 中文摘要 | 用XPS，AES和XRD分析厚约2 μm离子束辅助沉积TiN膜的成分和结构．实验表明：膜的表面成分主要是TiO2，膜内是轻微择优取向晶粒较细的TiN．膜与衬底的界面存在混合区，用阶梯加载法测定润滑条件下GCr15钢与TiN膜对磨时的临界载荷－速度关系．试验发现TiN膜可显著扩大边界润滑区，承受较大载荷而不致发生擦伤． |
| 学科主题 | 材料科学与物理化学 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2015-07-08 |
| 源URL | [http://210.77.64.217/handle/362003/7295]  |
| 专题 | 兰州化学物理研究所_非现建制 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘捍卫,陈元儒,张绪寿. 离子束辅助沉积TiN膜的摩擦学特性[J]. 金属学报,1994,30(7):323-326. |
| APA | 刘捍卫,陈元儒,&张绪寿.(1994).离子束辅助沉积TiN膜的摩擦学特性.金属学报,30(7),323-326. |
| MLA | 刘捍卫,et al."离子束辅助沉积TiN膜的摩擦学特性".金属学报 30.7(1994):323-326. |
入库方式： OAI收割
来源：兰州化学物理研究所
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