硅片表面微坑织构和化学组分调控及其微/纳摩擦学行为研究
文献类型：会议论文
| 作者 | 赵文杰 ; 曾志翔 ; 陈建敏 ; 乌学东 ; 薛群基 |
| 出版日期 | 2014 |
| 会议名称 | 第十届全国表面工程大会暨第六届全国青年表面工程论坛论文摘要集（一） |
| 会议日期 | 2014-10-28 |
| 会议地点 | 中国 |
| 会议主办者 | 中国会议 |
| 源URL | [http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/11421]  |
| 专题 | 宁波材料技术与工程研究所_2014专题 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵文杰,曾志翔,陈建敏,等. 硅片表面微坑织构和化学组分调控及其微/纳摩擦学行为研究[C]. 见:第十届全国表面工程大会暨第六届全国青年表面工程论坛论文摘要集（一）. 中国. 2014-10-28. |
入库方式： OAI收割
来源：宁波材料技术与工程研究所
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