复合高功率脉冲磁控溅射放电等离子体特性
文献类型：期刊论文
| 作者 | 李小婵 ; 柯培玲 ; 许辉 ; 张栋 ; 汪爱英 |
| 刊名 | 真空
 |
| 出版日期 | 2015-01-25 |
| 公开日期 | 2015-09-06 |
| 源URL | [http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/11496]  |
| 专题 | 宁波材料技术与工程研究所_2015专题 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李小婵,柯培玲,许辉,等. 复合高功率脉冲磁控溅射放电等离子体特性[J]. 真空,2015. |
| APA | 李小婵,柯培玲,许辉,张栋,&汪爱英.(2015).复合高功率脉冲磁控溅射放电等离子体特性.真空. |
| MLA | 李小婵,et al."复合高功率脉冲磁控溅射放电等离子体特性".真空 (2015). |
入库方式： OAI收割
来源：宁波材料技术与工程研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。