Dendritic nanostructures and pattern formation in anodic bonding of Pyrex glass and crystalline silicon coated with aluminum ultra-thin film
文献类型：会议论文
| 作者 | Hu YQ(胡宇群) ; Zhao YP(赵亚溥); Zhao YP(赵亚溥)
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| 出版日期 | 2005 |
| 会议名称 | 2005年纳米和表面科学与技术全国会议 |
| 会议日期 | 2005-09-01 |
| 会议地点 | 中国北京 |
| 关键词 | anodic bonding dendritic nanostructures depletion layer DLA |
| 中文摘要 | Anodic bonding,with metal or alloy thin films as an intermediate layer,findsincreasing applications in micro/nano electromechanical systems(MEMS/NEMS).Atthe bonding temperature of 350℃,voltage of 400 V and duration of 30 minutes,theanodic bonding is completed between Pyrex glass and crystalline ... |
| 会议录 | 2005年纳米和表面科学与技术全国会议论文摘要集
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| 语种 | 英语 |
| 源URL | [http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/55230]  |
| 专题 | 力学研究所_力学所知识产出(1956-2008) |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Hu YQ,Zhao YP,Zhao YP. Dendritic nanostructures and pattern formation in anodic bonding of Pyrex glass and crystalline silicon coated with aluminum ultra-thin film[C]. 见:2005年纳米和表面科学与技术全国会议. 中国北京. 2005-09-01. |
入库方式： OAI收割
来源：力学研究所
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